PR tīrīšanas automatizētās ražošanas līnijas pamataprīkojums LCD displeju ražotājiem
PR (fotorezista) tīrīšanas automatizētā ražošanas līnija ir galvenā mitrā procesa iekārta LCD displeju ražošanā. To galvenokārt izmanto pēc fotolitogrāfijas procesa uz masīva substrāta, lai rūpīgi noņemtu atlikušo fotorezistu, kodināšanas atlikumus un virsmas mikro{1}}piesārņotājus. Tas ir būtisks aprīkojums paneļa ķēdes precizitātes nodrošināšanai un produktu ražas uzlabošanai. Tas ir lieliski piemērots stingrai 100. klases tīrās telpas ražošanas videi, un tas nodrošina augstas-precizitātes, automatizētas un piesārņojošas-slēgtas{7}}cikla tīrīšanas darbības.
Atlasot pozitīvo un negatīvo fotorezista atlikumu pēc fotolitogrāfijas procesa, tajā tiek izmantota daudzpakāpju ultraskaņas tīrīšana + tīra ūdens pārplūdes skalošanas process, lai dziļi noņemtu gružus, organiskos piesārņotājus, putekļu daļiņas un citus piemaisījumus, kas palikuši pēc fotolitogrāfijas kodināšanas. Tas var rūpīgi noņemt mikroskopiskus atlikumus, kas ir mazāki par 0,5 μm, novēršot tādus defektus kā paneļa atvērtas ķēdes, spilgti plankumi un Mura plankumi, ko izraisa piemaisījumi. Apvienojumā ar 0,1 μm augstas-precizitātes filtrēšanas sistēmu tas novērš sekundāro piesārņojumu. Tas nodrošina rūpīgu noņemšanu bez bojājumiem, izvairoties no atlikušo līmes slāņu ietekmes uz turpmākajiem kodināšanas un pārklāšanas procesiem, un noņemšanas pārklājuma līmenis ir 100%.
Iebūvētais -ESD elektrostatiskās vadības modulis stingri kontrolē elektrostatisko vērtību diapazonā, kas ir mazāks par vai vienāds ar ±100 V. Apvienojumā ar dobuma anti-materiālu un bezkontakta magnētisko riteņu padeves tehnoloģiju, tas novērš elektrostatisko izlādi, kas nesabojā paneļa precīzās shēmas, vienlaikus novēršot skrāpējumus, šķembas un putekļu veidošanos no berzes uz stikla pamatnes, tādējādi maksimāli aizsargājot pamatnes integritāti.
Augstas un zemas temperatūras nemainīgas temperatūras pārbaudes kamera
LCD ekrānu ražotājiem paredzētās automatizētās tīrīšanas un žāvēšanas ražošanas līnijas iekārtu kodolā ir integrēts divkāršs žāvēšanas režīms: griešana ar gaisa nazi un nemainīga -temperatūra karstā gaisa žāvēšana. Tas ātri noņem ūdens traipus no pamatnes virsmas, panākot nožūšanu bez ūdenszīmēm-un pēdām-. Pēc žāvēšanas substrāta virsmas mitruma saturs tuvojas nullei, ļaujot tieši pārnest uz nākamo procesu bez otrreizējas apstrādes, nodrošinot procesa nepārtrauktību. PLC vadības sistēma nodrošina pilnībā automatizētu slēgta{6}} cikla iekraušanas, pozicionēšanas, tīrīšanas un izkraušanas darbību. Tā atbalsta reāllaika-uzraudzības un trauksmes funkcijas tīrīšanas šķīduma koncentrācijas, temperatūras, mitruma un tīrības regulēšanai. Slēgtā kamera un gradienta negatīvā spiediena dizains novērš ķīmisku gāzu noplūdi. Apvienojumā ar 100. klases tīrās telpas pozitīvā spiediena vidi tas nodrošina arī īpaši tīru ūdens pārstrādi un atkritumu šķidrumu klasifikāciju un reģenerāciju, kas atbilst gan enerģijas-taupīšanas, gan vides aizsardzības prasībām.
Salīdzinājumā ar tradicionālo manuālo tīrīšanu, pilnībā automatizētām PR tīrīšanas ražošanas līnijām ir neaizvietojamas priekšrocības: tīrīšanas efektivitāte tiek palielināta vairāk nekā 3 reizes, un vienā maiņā var apstrādāt gandrīz 10 000 stikla substrātu, būtiski saīsinot procesa ciklu; tīrīšanas konsistence ir lieliska, rūpīgi noņemot mikro-atlikumus, kas mazāki par 0,5 μm, kontrolējot paneļa defektu ātrumu 0,5 ppm robežās, efektīvi izvairoties no tādiem defektiem kā spilgti plankumi, tumši plankumi un ķēdes pārtraukumi uz ekrāna; iekārtai ir ūdens-taupīšanas un enerģijas-taupīšanas dizains ar augstu tīra ūdens reģenerācijas līmeni un notekūdeņu klasificētu savākšanu un attīrīšanu, kas atbilst vides aizsardzības ražošanas prasībām; visa iekārta ir izgatavota no korozijizturīga -PVC un SUS304 nerūsējošā tērauda, ar spēcīgu blīvējumu, vieglu tīrīšanu un apkopi, un tā ir piemērota 24-stundu nepārtrauktai darbībai tīrās telpās, kļūstot par standarta aprīkojumu LCD ekrānu ražotājiem, lai izveidotu augstas klases produktu līnijas un uzlabotu galveno konkurētspēju.
Pamataprīkojums LCD displeju ražotāju fotolitogrāfijas darbnīcā
Ekspozīcijas aprīkojums ir galvenais aprīkojums fotolitogrāfijas darbnīcā un galvenā procesa joma LCD bloku ražošanas procesā. Tā ir pazīstama arī kā paneļu litogrāfijas iekārta, un tā ir augstas-precizitātes optiskās mitrās apstrādes ierīce. Tās galvenā funkcija ir pārnest substrāta shēmas zīmējumu uz stikla substrāta, kas pārklāts ar fotorezistu, izmantojot optisko ekspozīciju, kas ir ļoti svarīgi, lai panelī izveidotu mikro{3}shēmas. Precīza shēmas pārnešana no fotomaskas uz stikla pamatni ir priekšnoteikums turpmākajiem kodināšanas, pārklāšanas un PR tīrīšanas procesiem, kas tieši nosaka displeja ekrāna kvalitāti. Iekārtā tiek izmantots bezkontakta iedarbības process, kas piemērots liela izmēra-plāna LCD stikla pamatnēm, izvairoties no substrāta skrāpējumiem, bojājumiem un piesārņojuma.
Galvenie tehnoloģiskie aspekti ietver augstas-precizitātes izlīdzināšanas sistēmu ar mikronu-līmeņa vai pat zem-mikronu-līmeņa pārklājuma precizitāti, nodrošinot nulles novirzi vairāku-slāņu ķēžu sakraušanā, kļūdas kontrolējot dažu tūkstošdaļās no mata diametra; vienotas ekspozīcijas gaismas avota un dinamiskas fokusēšanas tehnoloģijas izmantošana, lai panāktu ekspozīcijas enerģijas svārstības<±3% on large-size substrates of several square meters, guaranteeing pattern consistency; a vacuum adsorption substrate platform to effectively suppress substrate deformation and improve exposure pass rate; and a PLC intelligent control system to achieve fully automated substrate loading, pre-alignment, exposure, and unloading, supporting online parameter monitoring, anomaly alarms, and data traceability, suitable for 24-hour continuous mass production.
Visā darbnīcā tiek izmantots 589 nm vienkrāsains dzeltenās gaismas avots, pilnībā izfiltrējot īsa viļņa garuma gaismu, piemēram, ultravioleto, zilo un balto gaismu, neļaujot šiem stariem priekšlaicīgi izraisīt fotoķīmiskas reakcijas fotorezistā, izraisot nāvējošus defektus, piemēram, zīmējuma novirzi, nepilnīgas līnijas, īssavienojumus un atvērtas ķēdes. Apgaismojuma sistēma izmanto īpašu dzelteno gaismas diožu un divslāņu filtru kombināciju, lai novērstu izkliedētas gaismas noplūdi; durvis, logi un skatu logi ir aprīkoti ar anti-ultravioleto filtru materiāliem; Mobilie tālruņi, kameras, jaudīgas-zibspuldzes un citi ārējie gaismas avoti ir stingri aizliegti darbnīcā, un tiek ieviesta pilnīga apgaismojuma kontrole, lai novērstu priekšlaicīgas fotorezista iedarbības risku no avota.
Ievads 100. klases tīrajās telpās LCD displeju ražotājiem
Augstas-precīzas LCD ražošanas jomā 100. klases tīrās telpas (ISO 5. klases tīrās telpas) ir galvenā ražošanas iekārta un galvenais ražotāja tehniskā spēka un produkta ražības rādītājs. Vadošie displeju uzņēmumi, piemēram, BOE, TCL CSOT, HKC un Tianma, tos plaši izmanto galvenajos procesa posmos, piemēram, masīvā, šūnu montāžā un moduļu iepakojumā. Šīm tīrām telpām ir stingri tīrības standarti, ar ne vairāk kā 100 suspendētām putekļu daļiņām, kuru diametrs ir lielāks vai vienāds ar 0,5 μm uz kubikpēdu gaisa (mazāks vai vienāds ar 3520 uz kubikmetru). Šis tīrības līmenis ievērojami pārsniedz medicīnisko operāciju telpu tīrības līmeni, kalpojot kā "stingrs barjera", lai novērstu putekļu, statiskās elektrības un ķīmisko piesārņotāju iejaukšanos precizitātes procesos. Tā ir galvenā aparatūras sastāvdaļa, kas tieši nosaka ekrāna attēla kvalitāti, kalpošanas laiku un ienesīguma līmeni.
Darbnīca ir projektēta un uzbūvēta stingri saskaņā ar ISO starptautiskajiem un vietējiem standartiem. Tas izmanto vertikālu vienvirziena gaisa plūsmas režīmu, kas savienots ar četru-pakāpju ULPA filtrēšanas sistēmu (pirms-filtrs, vidējas-efektivitātes filtrs, augstas-efektivitātes filtrs un īpaši-augstas-efektivitātes filtrs), nodrošinot filtrēšanas efektivitāti un putekļu likvidēšanas efektivitāti līdz pat 9 %, līdz 99 %. mirušās zonas. Vienlaikus tiek panākta precīza vides kontrole visās dimensijās: nemainīga temperatūra 23±1 grāds, relatīvais mitrums kontrolēts 45%-55%, pozitīva spiediena stāvoklis tiek uzturēts tīrā zonā un spiediena starpība, kas lielāka vai vienāda ar 10Pa starp blakus esošajām zonām, pilnībā novēršot ārējo putekļu iekļūšanu; ņemot vērā displeja paneļu jutīgumu pret elektrostatiskiem bojājumiem, tiek izmantots anti-statiskais epoksīda pašizlīdzinošais{17}grīdas segums, un sienām un griestiem tiek izmantotas 304 nerūsējošā tērauda un tīru telpu krāsu tērauda plāksnes, stingri kontrolējot statiskās elektrības vērtības visā procesā. tiek nodrošināta papildu kontrole attiecībā uz molekulārā-līmeņa GOS ķīmiskajiem piesārņotājiem un latentiem traucējumiem, piemēram, mikrovibrācijām, kas atbilst nanomēroga procesu prasībām, piemēram, fotolitogrāfija, plānslāņa nogulsnēšanās un šķidro kristālu injekcija.
Darbnīcā tiek izmantots daudzpakāpju tīrās telpas zonējuma dizains, kas sadalīts 100. klases pamatzonā, 1000. klases buferzonā un 10 000. klases palīgzonā ar slāņiem, kas novērš krustenisku-piesārņojumu, un personāla un automatizētās materiālu konveijera līnijas ir pilnībā atdalītas. Personālam ir jāiziet trīskāršs apģērba maiņas process, gaisa duša un elektrostatiskā noteikšana, un tie var iekļūt tikai tad, kad ir uzvilkts pilnīgs-ķermeņa tīrības uzvalks,{7}}putekļus nesaturoši cimdi un aizsargbrilles; materiāli tiek pārvietoti caur bloķētiem pārvietošanas logiem un tiek pakļauti putekļu un statiskās elektrības noņemšanai; interjers ir aprīkots ar FFU laminārās plūsmas pārsegi, tiešsaistes daļiņu skaitītāji, temperatūras un mitruma sensori, diferenciālā spiediena monitori un citas iekārtas, lai nodrošinātu 24-stundu reāllaika uzraudzību un datu izsekojamību, un nekavējoties izsauks brīdinājumus un veiks korekcijas neparastu indikatoru gadījumā, lai nodrošinātu nepārtrauktu vides stabilitāti.
